检测项目：晶圆边缘的点缺口或线缺口 点缺口（Dot Notch）线缺口（Flat Notch）

检测任务：通过视觉检测，将晶圆（wafer）精确定位，为下一步工序做好准备

原理说明

检测定位是指找到被测物体或物测物体某一特征区域并确定其位置，输出位置坐标，绝大多数的视觉系统都必须完成这个工作；当被测物体的坐标被准确定位之后，常常需要根据前一步确定的位置来完成下一个动作（比如机器手进行抓取、激光进行切割和焊接头进行焊接等）。这是视觉行业里被最密集使用的技术，定位的精度、速度和重复度就是各个视觉系统的关键指标，北京优纳科技有限公司自主研发的PHOCUS-iNotch晶圆缺口检测系统在以上方面具有明显的技术优势，成功实现了自动分辨点缺口与面缺口，及高速高精确检测与定位。

系统组成 PHOCUS-iNotch晶圆缺口检测系统主体包括PHOCUS系列智能相机（130万-300万象素可选）、iNotch缺口检测软件、及系统标配的LED环形光源和电源，全部由优纳科技自主研发生产。易于集成和安装，利用Etherne网络进行通讯。通过网络，用户可以方便进行数据访问和工业过程监控，并实现了更好的晶圆跟踪。所有地点能够远程信息共享。PHOCUS-iNotch还提供RS-232串口通讯，满足没有Etherne网络的工厂设备使用的需要。PHOCUS-iNotch能够方便与工厂设备进行系统集成，并很容易根据现有设备的需要进行安装和升级。 系统优势

缺口Notch通常不超过2mm，这要求检测设备的图像采集清晰度非常高；在半导体生产现场，对缺口检测的速度要求很高；同时，受到光源、电源等电磁信号干扰的影响，消除和避免噪音也成为提高检测精度的必要手段。 晶圆缺口检测系统PHOCUS-iNotch采用图像识别技术进行实时检测、定位和分析，有效地避免了上述的种种问题，使得生产精度，稳定性及效率得到极大的提高。其硬件部分采用PHOCUS-1810高速130万象素智能相机，保证了高质量图像的采集；检测定位部分应用优纳科技自主研发的iNotch视觉软件包，其定位精度高，速度快，一次识别时间在100ms以内；结合优纳最新研发的LED环形光源和电源，最大限度地降低了现场噪音对图像的影响。PHOCUS-iNotch晶圆缺口检测系统可自动分辨点缺口和线缺口，最高精度可达0.1个象素，性能达到世界领先水平。

软件界面 系统自动测量并标注圆心、点缺口位置坐标；自动生成圆心—缺口连线；测量圆心-缺口距离

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